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半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 應用無線電波與微波電漿作為光阻及蝕刻後殘留高分子之去除 - Semicondutor ...
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日期：2025-06-02
... 會造成不可接受的大量氧化層損失。由於在去除程序中，在閘極底下之薄氧化層是暴露在 電漿與 蝕刻液中。因此 ......看更多
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